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1、无尘车间净化设备安装好后小心地拆除隔离墙，经过过滤的空气可以接入送风。进行这一步的时间应该仔细地选定，尽量减少对无尘车间内正常工作的干扰。
2、无尘车间设备内部和关键的加工小室应该在正常的洁净室条件下进行清洁和投入使用的准备工作。
3、无尘车间净化设备安装结束后对所有适当的洁净室内和所有与产品接触或涉及产品传递的表面都要进行擦拭，达到要求的洁净度级别。设备的清洁程序应该是从顶到底，因为如果有粒子散布，较大的粒子会因重力而落到设备的底部或地面上。
4、对无尘车间设备外部清洁，顺序也是从顶到底。
5、无尘车间净化设备安装完工如必要时，应该检查产品或工艺要求非常关键的区域的表面粒子情况。
