净化车间是能量消耗大户,这是因为要保持洁净的生产环境所必需的空气洁净度等级、压差、温度、相对湿度要求;防止污染和交叉污染,净化车间内应根据产品生产过程的要求排除生产过程中产生的粉尘、热量、有机溶剂等所需的全室或局部排风装置,与此同时需向净化车间内送入相应的或必需的室外新鲜空气;根据不同的空气洁净度等级的要求需要有必须的换气次数/送风量。
为进行正常的产品生产,净化车间内的生产工艺设备需按产品的特点供应电力、纯气、纯水、高纯化学品等,这些也需消耗大量的能源,伴随着电力等能量的消耗,在净化车间内产生的各种形式的发热量还需进行冷却,有时这种需进行冷却的热负荷量是不可忽视的。
净化车间所需的净化空调系统的冷负荷与一般工业厂房或写字楼的一般空调系统的冷负荷相比,前者因空气洁净度等级和无尘室内生产工艺要求的不同,冷负荷大约为2093-6280kj/(㎡.h),而写字楼的一般空调系统的冷负荷仅335-502kj/(㎡/h).半导体集成电路制造或生物医药产品的主要生产工序都要求在无尘室内进行,为了保持所必须的空气洁净度等级,需要将大量的空气通过高效过滤后送入无尘室内,写字楼的一般空调房间的换气次数为10次.h-1以下,而大规模集成电路生产所需的5级(100级)、4级(10级)、3级(1级)无尘室的换气次数可能达数百次,其送风量将会比前者大数十倍以至百倍上,因此无尘室的净化空调系统及其制冷机的耗电量比其他类型建筑物的一般空调系统及其制冷机的耗电量大得多,据调查统计大规模集成电量约占工厂总耗电量的50%左右;制药工厂洁净厂房的净化空调系统及其制冷机的耗电量约占工厂总耗电量的60%左右!
如果万级无尘室节能不采取新的措施——革新设计方法、研制新式节能设备、提高运行管理水平,则将无法满足消费者的要求,所以各公司对净化车间的净化,无不从设计、运行管理、研究开发方面考虑各种手段、措施来减少能耗。
一、万级无尘室节能方面采取的措施
1.厂址选择、建筑布局与工艺设置的合理性,可以从根本上降低初投资及运行费用。
2.减少净化空间是大家共同关注的实现节能的快捷有效途径的方向。净化系统的风量取决于房间体积和换气次数,而换气次数大多由洁净级别所确定,因此要降低 洁净系统的风量可以减小净化空间入手。因为低风量化即合理地选定换气次数可以减少送风动力消耗。同时在管路设计中尽可能减少系统的阻力,也可达到降低送风 动力消耗的效果。
3.正确确定生产设备的热负荷对选定空调制冷设备有直接关系。
4.空调和净化功能的分离有利于发挥各自的技术经济合理性。
5.工艺过程中和空调系统的热回收是可以直接获益的措施,因此应充分利用这部分热量,使之达到物尽其用的目的。
6.设计方案应具有较好的适应性(灵活性),它是实验性车间必须考虑的问题(如单向流/非单向流的转换、分区转换等)。
7.新风集中处理有利于应用地下水预冷、除尘和加湿。
8.室内换气次数和末级过滤器效率之间的组合(达到相同级别)需进行经济比较。
二、 万级无尘室运行过程中的注意事项
1.生产工作停止时,排气柜应减小排风量,新风量亦应随之调小。
2.根据不同的工艺过程应能有效控制室内换气次数。
3.与一般空调系统相同,运行中在某些季节应尽可能利用自然的冷却作用(室外空气冷却、冬季利用冷却塔获得冷水)。
4.过渡季是否增加新风比,以及值班运行方式是否提前开动运行均应通过经济比较确定。
5.提高空调净化系统的自控水平,能够实现既保证运行质量,又能达到节能的目的。